物理学报
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物理学报  2016, Vol. 65 Issue (18): .      DOI: 10.7498/aps.65.185202
气体、等离子体和放电物理 最新目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索 |
筒形高功率脉冲磁控溅射源的开发与放电特性
肖舒1, 吴忠振1, 崔岁寒1, 刘亮亮1, 郑博聪1, 林海1, 傅劲裕2, 田修波1, 潘锋1, 朱剑豪2
1. 北京大学深圳研究生院新材料学院, 深圳 518055;
2. 香港城市大学物理与材料科学系, 香港 999077
Cylindric high power impulse magnetron sputtering source and its discharge characteristics
Xiao Shu1, Wu Zhong-Zhen1, Cui Sui-Han1, Liu Liang-Liang1, Zheng Bo-Cong1, Lin Hai1, Ricky K Y Fu2, Tian Xiu-Bo1, Pan Feng1, Paul K Chu2
1. School of Advanced Materials, Peking University Shenzhen Graduate School, Shenzhen 518055, China;
2. Department of Physics and Materials Science, City University of Hong Kong, Hong Kong 999077, China


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