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β-SiC薄膜在SF6和SF6+O2中的等离子体刻蚀研究

柴常春 杨银堂 李跃进 贾护军 姬慧莲

引用本文:
Citation:

β-SiC薄膜在SF6和SF6+O2中的等离子体刻蚀研究

柴常春, 杨银堂, 李跃进, 贾护军, 姬慧莲

STUDY ON PLASMA ETCHING OF β-SiC THIN FILMS IN SF6 AND THE SF6+O2 MIXTURES

CHAI CHANG-CHUN, YANG YIN-TANG, LI YUE-JIN, JIA HU-JUN, JI HUI-LIAN
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出版历程
  • 收稿日期:  1998-07-28
  • 刊出日期:  1999-03-20

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