薄栅氧化层经时击穿的参数表征研究
物理学报
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物理学报  2000, Vol. 49 Issue (6): 1163-1167
凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质 当期目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索     
薄栅氧化层经时击穿的参数表征研究
刘红侠, 郝 跃
西安电子科技大学微电子研究所,西安 710071
STUDY ON PARAMETER CHARACTERIZATION OF THIN GATE OXIDE TDDB BREAKDOWN
LIU HONG-XIA, HAO YUE
西安电子科技大学微电子研究所,西安 710071

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