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偏压磁控溅射法在水冷柔性衬底上制备ITO透明导电膜

杨志伟 韩圣浩 杨田林 赵俊卿 马 瑾 马洪磊 程传福

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偏压磁控溅射法在水冷柔性衬底上制备ITO透明导电膜

杨志伟, 韩圣浩, 杨田林, 赵俊卿, 马 瑾, 马洪磊, 程传福

PREPARATION OF ITO FILMS ON WATER-COOLED FLEXIBLE SUBSTRATE BY BIAS R.F. MAGNETRON SPUTTERING

YANG ZHI-WEI, HAN SHENG-HAO, YANG TIAN-LIN, ZHAO JUN-QING, MA JIN, MA HONG-LEI, CHENG CHUAN-FU
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出版历程
  • 收稿日期:  1999-09-15
  • 修回日期:  1999-10-15
  • 刊出日期:  2000-03-05

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