在Si(111)上用有机溶胶凝胶甩膜热解法制备(0001)定向的6H-SiC薄膜
物理学报
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物理学报  2001, Vol. 50 Issue (2): 256-261
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在Si(111)上用有机溶胶凝胶甩膜热解法制备(0001)定向的6H-SiC薄膜
王玉霞, 郭震, 何海平, 曹颖, 汤洪高
中国科学技术大学材料科学与工程系,合肥230026
EPITAXIAL GROWTH OF (0001)ORIENTED 6H-SiC FILMS ON Si(111) SUBSTRATE BY ORGANIC SOL-GEL FILM ANNEALING
WANG YU-XIA, GUO ZHEN, HE HAI-PING, CAO YING, TANG HONG-GUO
中国科学技术大学材料科学与工程系,合肥230026

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