薄栅氧化层经时击穿的实验分析及物理模型研究
物理学报
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物理学报  2001, Vol. 50 Issue (6): 1172-1177
凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质 当期目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索     
薄栅氧化层经时击穿的实验分析及物理模型研究
刘红侠, 方建平, 郝跃
西安电子科技大学微电子研究所,西安710071
EXPERIMENTAL ANALYSIS AND PHYSICAL MODEL INVESTIGATION OF TDDB OF THIN GATE OXIDE
LIU HONG-XIA, FANG JIAN-PING, HAO YUE
西安电子科技大学微电子研究所,西安710071

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