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微波等离子体化学气相沉积法制备C3N4薄膜的结构研究

张永平 顾有松 高鸿钧 张秀芳

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微波等离子体化学气相沉积法制备C3N4薄膜的结构研究

张永平, 顾有松, 高鸿钧, 张秀芳

STRUCTURAL CHARACTERIZATION OF C3N4 THIN FILMS SYNTHESIZED BY MICROWAVE PLASMA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION

ZHANG YONG-PING, GU YOU-SONG, GAO HONG-JUN, ZHANG XIU-FANG
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出版历程
  • 收稿日期:  2000-11-15
  • 修回日期:  2001-02-06
  • 刊出日期:  2001-07-20

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