低能束作用下衬底上超薄膜背散射电子发射
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物理学报  2002, Vol. 51 Issue (7): 1506-1511
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低能束作用下衬底上超薄膜背散射电子发射
谭震宇1, 夏曰源2
(1)山东大学电气工程学院,济南250061; (2)山东大学物理与微电子学院,济南250100
Tan Zhen-Yu1, Xia Yue-Yuan2
(1)山东大学电气工程学院,济南250061; (2)山东大学物理与微电子学院,济南250100

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