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SOIM新结构的制备及其性能的研究

谢欣云 林 青 门传玲 刘卫丽 徐安怀 林成鲁

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SOIM新结构的制备及其性能的研究

谢欣云, 林 青, 门传玲, 刘卫丽, 徐安怀, 林成鲁

Fabrication of silicon-on-insulator-multilayer structure by epitaxial layer transfer

Xie Xin-Yun, Lin Qing, Men Chuan-Ling, Liu Wei-Li, Xu An-Huai, Lin Cheng-Lu
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出版历程
  • 收稿日期:  2002-04-19
  • 修回日期:  2002-06-02
  • 刊出日期:  2005-04-03

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