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| AlN在AlN/VN纳米多层膜中的相转变及其对薄膜力学性能的影响 |
| 劳技军, 胡晓萍, 虞晓江, 李戈扬, 顾明元 |
| 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室，上海 200030 |
| Phase transformation of AlN in AlN/VN nanomultilayers and its effect on the mech anical properties of films |
| Lao Ji-Jun, Hu Xiao-Ping, Yu Xiao-Jiang, Li Ge-Yang, Gu Ming-Yuan |
| 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室，上海 200030 |
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摘要： 采用反应磁控溅射制备了AlN/VN纳米多层膜.研究了多层膜调制周期对AlN生长结构的影响以 及纳米多层膜的力学性能.结果表明：小周期多层膜中的AlN以亚稳的立方相(c-AlN)存在并 与VN形成共格外延生长的超晶格.薄膜产生硬度和弹性模量升高的超硬效应.大调制周期下， AlN从立方结构转变为稳定的六方相（h-AlN），并使多层膜形成纳米晶的“砖墙”型结构. 讨论认为VN的模板作用有利于c-AlN的生长，但不能显著提高其临界厚度.
关键词：
薄膜的力学性能
外延生长
亚稳相
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Abstract： AlN/VN nanomultilayers were prepared by reactive magnetron sputtering method. Th e effect of modulation period on the microstructure and mechanical properties of AlN/VN nanomultilayers were studied in this work. The results show that AlN exi sts in metastable cubic structure (c-AlN) at small modulation period and forms c oherent epitaxial grown superlattice with VN. At larger modulation periods, AlN transforms from cubic structure to stable hexagonal structure (h-AlN),and the na nomultilayers form a “brick-wall” structure with nanometer grains. The discuss ion shows that the template effect of VN is beneficial to the growth of c-AlN, b ut cannot increase its critical thickness remarkably.
Keywords：
mechanical properties of films
epitaxial growth
metastable phase
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收稿日期: 2002-11-28
出版日期: 2003-09-20
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| 引用本文: |
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劳技军,胡晓萍,虞晓江 等 . AlN在AlN/VN纳米多层膜中的相转变及其对薄膜力学性能的影响. 物理学报, 2003, 52(9): 2263.
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| Cite this article: |
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Lao Ji-Jun,Hu Xiao-Ping,Yu Xiao-Jiang et al. Phase transformation of AlN in AlN/VN nanomultilayers and its effect on the mech anical properties of films. Acta Phys. Sin., 2003, 52(9): 2259-2263.
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| URL: |
| http://wulixb.iphy.ac.cn/CN/Y2003/V52/I9/2259 |
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2003, Vol. 52 
