CF4气体ICP等离子体中的双温电子特性
物理学报
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物理学报  2004, Vol. 53 Issue (10): 3394-3397
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CF4气体ICP等离子体中的双温电子特性
黄 松, 宁兆元, 辛 煜, 甘肇强
苏州大学物理科学与技术学院,苏州 215006
Characteristics of two-electron-temperature in inductively coupled CF4 plasmas
Huang Song, Ning Zhao-Yuan, Xin Yu, Gan Zhao-Qiang
苏州大学物理科学与技术学院,苏州 215006

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