脉冲高能量密度等离子体法制备TiN薄膜及其摩擦磨损性能研究
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物理学报  2004, Vol. 53 Issue (2): 503-507
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脉冲高能量密度等离子体法制备TiN薄膜及其摩擦磨损性能研究
刘元富, 张谷令, 王久丽, 刘赤子, 杨思泽
中国科学院物理研究所,北京 100080
Preparation of titanium nitride films by pulsed high-energy-density plasma and investigation of the tribological behavior of the film
Liu Yuan-Fu, Zhang Gu-Ling, Wang Jiu-Li, Liu Chi-Zi, Yang Si-Ze
中国科学院物理研究所,北京 100080

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