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反应磁控溅射法制备的氟化类金刚石薄膜的XPS结构研究

江美福 宁兆元

引用本文:
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反应磁控溅射法制备的氟化类金刚石薄膜的XPS结构研究

江美福, 宁兆元

XPS study of fluorinated diamond-like carbon films prepared by reactive magnetron sputtering

Jiang Mei-Fu, Ning Zhao-Yuan
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-10-13
  • 修回日期:  2003-12-09
  • 刊出日期:  2004-09-16

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