物理学报
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2006, Vol. 55(11): 6013-6019    DOI: 10.7498/aps.55.6013
反应磁控溅射ZrN/AlON纳米多层膜的晶体生长和超硬效应
刘 艳, 董云杉, 岳建岭, 李戈扬
上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海 200030
收稿日期 2006-02-22  修回日期 2006-04-07
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