物理学报
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2007, Vol. 56(10): 5691-5697    DOI: 10.7498/aps.56.5691
一种在线测量微机械薄膜残余应力的新结构
虞益挺, 苑伟政, 乔大勇, 梁 庆
西北工业大学微/纳米系统实验室,西安 710072
收稿日期 2007-01-18  修回日期 2007-01-29
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