物理学报
引用检索 快速检索
2010, Vol. 59(6): 4130-4135    DOI: 10.7498/aps.59.4130
氦离子注入4H-SiC晶体的纳米硬度研究
张崇宏1, 张勇2, 周丽宏2, 李炳生2, 杨义涛2
(1)中国科学院近代物理研究所,兰州 730000; (2)中国科学院近代物理研究所,兰州 730000;中国科学院研究生院,北京 100049
收稿日期 2009-08-20  修回日期 2009-10-29
Supporting info
null

版权所有 ©  物理学报
地址:北京市603信箱,《物理学报》编辑部 邮编:100190
电话:010-82649294,82649829,82649863   E-mail:apsoffice@iphy.ac.cn
网络系统维护电话:010-62662699-1; 技术支持邮箱 linjl@magtech.com.cn