物理学报
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2010, Vol. 59(8): 5749-5754    DOI: 10.7498/aps.59.5749
射频磁控溅射法制备ZnS多晶薄膜及其性质
谢婧, 黎兵, 李愿杰, 颜璞, 冯良桓, 蔡亚平, 郑家贵, 张静全, 李卫, 武莉莉, 雷智, 曾广根
四川大学材料科学与工程学院,成都 610064
收稿日期 2009-11-26  修回日期 2009-12-22
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