物理学报
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2013, Vol. 62(6): 68101-068101    DOI: 10.7498/aps.62.068101
6H-SiC的飞秒激光超衍射加工
云志强1, 魏汝省2, 李威1, 罗维维1, 吴强1, 徐现刚2, 张心正1
1. 南开大学物理科学学院 和泰达应用物理学院, 弱光非线性光子学教育部重点实验室, 天津 300457;
2. 山东大学, 晶体材料国家重点实验室, 济南 250100
收稿日期 2012-08-22  修回日期 2012-10-23
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