物理学报
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2014, Vol. 63(7): 76801-076801    DOI: 10.7498/aps.63.076801
电极间距对μc-Si1-xGex:H薄膜结构特性的影响
曹宇1 2, 张建军2, 严干贵1, 倪牮2, 李天微2, 黄振华2, 赵颖2
1. 东北电力大学电气工程学院, 吉林 132012;
2. 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所, 光电信息技术科学教育部重点实验室, 光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室, 天津 300071
收稿日期 2013-10-13  修回日期 2013-12-21
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