物理学报
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2014, Vol. 63(18): 185207-185207    DOI: 10.7498/aps.63.185207
高压耦合高功率脉冲磁控溅射的增强放电效应
吴忠振1 2, 田修波2, 潘锋1, Ricky K. Y. Fu3, 朱剑豪3
1. 北京大学深圳研究生院新材料学院, 深圳 518055;
2. 哈尔滨工业大学, 先进焊接与连接国家重点实验室, 哈尔滨 150001;
3. 香港城市大学物理与材料科学系, 九龙
收稿日期 2014-03-25  修回日期 2014-05-13
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