物理学报
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2000, Vol. 49(6): 1163-1167    DOI: 10.7498/aps.49.1163
薄栅氧化层经时击穿的参数表征研究
刘红侠, 郝 跃
西安电子科技大学微电子研究所,西安 710071
收稿日期 1999-10-25  修回日期 1999-11-20
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