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基于严格耦合波理论的多层介质膜光栅衍射特性分析

孔伟金 云茂金 孙 欣 刘均海 范正修 邵建达

基于严格耦合波理论的多层介质膜光栅衍射特性分析

孔伟金, 云茂金, 孙 欣, 刘均海, 范正修, 邵建达
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-08-27
  • 修回日期:  2008-04-15
  • 刊出日期:  2008-04-05

基于严格耦合波理论的多层介质膜光栅衍射特性分析

  • 1. (1)青岛大学物理科学学院,青岛 266071; (2)中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:10376040)和山东省教育厅科研基金(批准号:J06P02)资助的课题.

摘要: 基于严格耦合波理论建立了多层介质膜光栅的衍射机理模型,给出了TE波自准直条件下多层介质膜光栅衍射效率的表达式.以-1级衍射效率为评价函数,分析了表面浮雕结构分别为HfO2和SiO2材料的介质膜光栅获得衍射效率优于96%的结构参数.数值计算表明,顶层材料为HfO2的介质膜光栅具有更宽的结构选择范围.最后分析了介质膜光栅的制备容差和允许的入射角度范围.

English Abstract

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