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亚波长金属线栅的设计、制备及偏振成像实验研究

康果果 谭峤峰 陈伟力 李群庆 金伟其 金国藩

亚波长金属线栅的设计、制备及偏振成像实验研究

康果果, 谭峤峰, 陈伟力, 李群庆, 金伟其, 金国藩
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出版历程
  • 收稿日期:  2009-07-13
  • 修回日期:  2010-03-18
  • 刊出日期:  2011-01-15

亚波长金属线栅的设计、制备及偏振成像实验研究

  • 1. (1)北京理工大学光电学院,北京 100081; (2)清华大学精密测试技术与仪器国家重点实验室,北京 100084; (3)清华大学清华-富士康纳米科技研究中心,北京 100084
    基金项目: 

    国家重点基础研究发展计划(973)项目(批准号:2007CB935303和2007CB935301)资助的课题.

摘要: 针对红外偏振成像系统,运用等效介质理论,在氟化钙基底上设计了周期为200 nm,深度为100 nm的金属铝栅.模拟计算结果表明,设计的金属铝栅在中红外(3—5 μm)和远红外(8—12 μm)双波段范围内,以及±20°的视场范围内能够提供大于35dB的消光比.利用电子束曝光、反应离子束刻蚀、等离子去胶等工艺完成了金属铝栅的制作.将金属铝栅放在中波红外热像仪前,得到了目标轮廓清晰的偏振图像.

English Abstract

参考文献 (9)

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