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Si-SiO2膜的椭圆偏振光谱

莫党 陈树光 余玉贞 黄炳忠

Si-SiO2膜的椭圆偏振光谱

莫党, 陈树光, 余玉贞, 黄炳忠
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出版历程
  • 收稿日期:  1979-08-06
  • 刊出日期:  2005-07-29

Si-SiO2膜的椭圆偏振光谱

  • 1. 中山大学物理系

摘要: 我们建立了椭圆偏振光谱仪装置,提出一种较简便的测定方法(测Imax,Imin,θmin,算(ψ,Δ)-λ),并对具有不同厚度氧化硅膜的硅样品进行了测量。还在理论上计算了光谱曲线,与实验结果基本相符。最后,对比了测定膜厚的偏振光谱法与消光法。

English Abstract

参考文献 (1)

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