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七种离子注入砷化镓的射程统计参数计算

程兆年 朱文玉 王渭源

七种离子注入砷化镓的射程统计参数计算

程兆年, 朱文玉, 王渭源
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出版历程
  • 收稿日期:  1981-08-11
  • 刊出日期:  2005-07-27

七种离子注入砷化镓的射程统计参数计算

  • 1. 中国科学院上海冶金研究所

摘要: 采用逐级校正法数值求解LSS方程,计算了Be+,N+,Ne+,Mg+,Si+,Ar+,Cr+共七种离子注入到砷化镓靶中的射程统计参数Rp,△Rp,R⊥提出了计算Rp,△Rp,R⊥时简单的初值计算公式,既可避免能量零点发散,并有足够的计算精度。所提出的β积分表式,可大大节省机器计算时间。所使用的数值方法和计算程序也适用于其它离子注入到其它靶材料的计算。

English Abstract

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