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溅射相关的Pb97.4Sn2.6合金表面现象研究

倪宇红 张强基 陆全康 华中一

溅射相关的Pb97.4Sn2.6合金表面现象研究

倪宇红, 张强基, 陆全康, 华中一
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出版历程
  • 收稿日期:  1986-04-03
  • 刊出日期:  2005-07-14

溅射相关的Pb97.4Sn2.6合金表面现象研究

  • 1. 复旦大学现代物理研究所

摘要: 本文对Pb97.4Sn2.6合金表面在溅射时所产生的一些现象进行了研究。实验在室温下,利用PHI-590型扫描俄歇微探针进行。根据理论计算结果对实验数据进行分析后,观察到了溅射增强扩散效应。当Ar+离子能量为5千电子伏,离子流密度为70微安/厘米2时,测得锡在合金中的扩散系数为10-15厘米2/秒量级,影响层厚度约为200埃。

English Abstract

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