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退火对W/C周期性多层膜X射线衍射性能的影响

姜晓明 蒋最敏 刘文汉 吴自勤

退火对W/C周期性多层膜X射线衍射性能的影响

姜晓明, 蒋最敏, 刘文汉, 吴自勤
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出版历程
  • 收稿日期:  1988-02-01
  • 刊出日期:  2005-07-06

退火对W/C周期性多层膜X射线衍射性能的影响

  • 1. 中国科学技术大学基础物理中心
    基金项目: 

    中国科学院科学基金

摘要: 对W/C周期性多层膜的退火行为进行了精密X射线衍射测量,引入折射率修正,准确计算了多层膜的周期。观测到退火过程中多层膜周期变大的现象,同时二、三级Bragg衍射强度增大。用C层的密度下降对这些现象进行了解释。

English Abstract

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