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非相干光源用于“核-环比”法测量表面粗糙度

程路 萧季驹

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非相干光源用于“核-环比”法测量表面粗糙度

程路, 萧季驹

"CORE RING-RATIO" METHOD FOR SURFACE ROUGHNESS MEASUREMENT WITH INCOHERENT LIGHT SOURCE

CHENG LU, SIU GUEI-GU
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  • 本文将文献[1-5]的用激光测量表面粗糙度的“核-环比”法推广到采用其他非相干光源,给出测量原理的定量公式及测量装置的结构框图。
    This work extends the "Core-Ring-Ratio" method for surface roughness mea-surement[1-5] from the case using coherent light source to the case using incoherent source (i. e., extended non-monochromatic light source). The formulas of the principle of measurement and the schematic diagram of the measuring device are presented.
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出版历程
  • 收稿日期:  1989-03-20
  • 刊出日期:  2005-03-20

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