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MeV高能B+离子注入Si中二次缺陷的抑制与消除

卢武星 钱亚宏 田人和 王忠烈

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MeV高能B+离子注入Si中二次缺陷的抑制与消除

卢武星, 钱亚宏, 田人和, 王忠烈

SUPPRESSION AND ELIMINATION OF SECONDARY DEFECTS IN SILICON IMPLANTED WITH MeV ENERGETIC B+ IONS

LU WU-XING, QIAN YA-HONG, TIAN REN-HE, WANG ZHONG-LIE
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出版历程
  • 收稿日期:  1989-03-07
  • 刊出日期:  1990-01-05

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