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溅射原子角分布与靶点表面形貌的关联研究

王震遐 潘冀生 陶振兰 章骥平 张慧明 张伟坪 卢兆伦

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溅射原子角分布与靶点表面形貌的关联研究

王震遐, 潘冀生, 陶振兰, 章骥平, 张慧明, 张伟坪, 卢兆伦

A RESEARCH OF THE CORRELATION BETWEEN SURFACE TOPOGRAPHY AND ANGULAR DISTRIBUTION OF SPUTTERED ATOMS

WANG ZHEN-XIA, PAN JI-SHENG, TAO ZHEN-LAN, ZHANG JI-PING, ZHANG HUI-MING, ZHANG WEI-PING, LU ZHAO-LUN
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出版历程
  • 收稿日期:  1990-04-24
  • 修回日期:  1990-05-21
  • 刊出日期:  1991-01-05

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