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溅射原子角分布与靶点表面形貌的关联研究

张慧明 张伟坪 卢兆伦 王震遐 潘冀生 陶振兰 章骥平

溅射原子角分布与靶点表面形貌的关联研究

张慧明, 张伟坪, 卢兆伦, 王震遐, 潘冀生, 陶振兰, 章骥平
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出版历程
  • 收稿日期:  1990-04-24
  • 修回日期:  1990-05-21
  • 刊出日期:  1991-01-05

溅射原子角分布与靶点表面形貌的关联研究

  • 1. (1)杭州大学物理系,杭州,310028; (2)中国科学院上海原子核研究所,上海,201800
    基金项目: 

    国家自然科学基金

摘要: 27keV的Ar+离子垂直轰击处于不同温度的Cd靶,用捕获膜技术和Rutherford背散射谱仪(RBS)测定溅射原子角分布,并对所有样品的靶点形貌进行扫描电子显微镜(SEM)观察。结果发现,所有的角分布都呈over-cosine形状,但是在极角为0°处实验值与cosine值的偏离△,是不同的,在靶温度为150℃时的偏离△T小于在室温时的偏离△R,亦即△TR,提出一个简单的模型对这种溅射角分布

English Abstract

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