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重离子背散射——测量表面与近表面痕量元素的一种新方法

承焕生 杨福家 李向阳

重离子背散射——测量表面与近表面痕量元素的一种新方法

承焕生, 杨福家, 李向阳
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出版历程
  • 收稿日期:  1990-06-25
  • 刊出日期:  2005-07-01

重离子背散射——测量表面与近表面痕量元素的一种新方法

  • 1. 复旦大学物理二系,上海,200433

摘要: 本文报道了用重离子背散射探测表面、近表面微量重元素的新方法。通过选择入射离子种类,使入射离子原子量M1等于或略大于基体原子量M2,利用弹性散射运动学实现自动排除探测系统的脉冲堆积现象。实验结果表明利用能量为3MeVSi离子背散射,测量基体Si中注As的灵敏度优于2×1012原子/cm2;对基体Si表面的杂质元素Au,探测灵敏度高达2.2×109原子/cm2。

English Abstract

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