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化学腐蚀和硫处理对InSb(111)表面的影响

陆春明 李喆深 董国胜 任静 龚雅谦

化学腐蚀和硫处理对InSb(111)表面的影响

陆春明, 李喆深, 董国胜, 任静, 龚雅谦
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出版历程
  • 收稿日期:  1991-04-19
  • 刊出日期:  2005-07-03

化学腐蚀和硫处理对InSb(111)表面的影响

  • 1. (1)复旦大学应用表面物理国家重点实验室,上海,200433; (2)中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083
    基金项目: 

    国家自然科学基金

摘要: 本文应用俄歇电子能谱和X射线光电子能谱对化学腐蚀和硫处理的InSb表面进行了研究。实验中发现经过CP-4腐蚀以后在样品的表面生成了InSb的氧化层,氧化层中的组分是锑的氧化物明显多于铟的氧化物。样品经过硫处理以后能够除去InSb表面的氧化层并且形成硫化物钝化层。

English Abstract

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