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InSb中离子注入二次缺陷研究

田人和 卢武星 高愈尊 李竹怀

InSb中离子注入二次缺陷研究

田人和, 卢武星, 高愈尊, 李竹怀
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出版历程
  • 收稿日期:  1991-05-17
  • 刊出日期:  2005-07-03

InSb中离子注入二次缺陷研究

  • 1. (1)北京师范大学低能核物理研究所,北京100875; (2)北京有色金属研究总院,北京100088; (3)华北光电研究所,北京100015
    基金项目: 

    国家自然科学基金

摘要: 本文用平面的透射电子显微术(TEM)、剖面的透射电子显微术(XTEM)以及卢瑟福背散射和沟道谱(RBS),研究InSb中离于注入Zn+,Mg+,Be+产生的二次缺陷。以及它们的退火特性。结果表明,轻离子Be+注入产生的二次缺陷比重离子Zn+注入产生的要少得多,而Mg+离子介于Be+离子和Zn+离子之间,在中等剂量下(1×1013cm-2附近),注入损伤并不严重,而且容易恢复。从360℃到440℃之间作了退火温度的研究。从研究结果发现,退火温度以360℃为佳。离子注入InSb中的二次缺陷的形貌与Si中的不同,InSb中的二次缺陷以位错网为主,位错环所占比例不大且尺寸较小,而沉淀物和层错四面体也出现在其中。

English Abstract

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