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W/C超薄多层膜的制备及其结构与光学特性分析

邵建达 范正修 殷功杰 易葵 袁利祥

W/C超薄多层膜的制备及其结构与光学特性分析

邵建达, 范正修, 殷功杰, 易葵, 袁利祥
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出版历程
  • 收稿日期:  1993-11-13
  • 刊出日期:  1994-06-05

W/C超薄多层膜的制备及其结构与光学特性分析

  • 1. 中国科学院上海光学精密机械研究所

摘要: 利用平面磁控溅射技术,制备了W/C超薄多层膜样品。低角X射线衍射测试、透射电子显微镜显微剖面分析给出了该样品的结构参数,由这些结构参数模拟给出的光学特性与实测的4.47nm的绝对反射率角谱有较一致的表现。

English Abstract

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