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等离子体源离子注入球形靶的蒙特-卡罗模拟

王德真 马腾才 宫野

等离子体源离子注入球形靶的蒙特-卡罗模拟

王德真, 马腾才, 宫野
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  • 建立了在球形靶鞘层中离子的蒙特-卡罗模拟模型,考虑了离子与中性粒子的电荷交换碰撞和弹性散射,以及精确依赖于入射离子能量的电荷交换碰撞截面和动量输运截面。模拟了不同气压下,在鞘层扩展过程中,氮离子N_2~+到达靶表面的能量分布和入射角分布,研究了它们的变化规律。
    • 基金项目: 国家自然科学基金国家高技术研究发展计划青年基金资助的课题
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出版历程
  • 收稿日期:  1994-05-17
  • 刊出日期:  1995-03-05

等离子体源离子注入球形靶的蒙特-卡罗模拟

  • 1. 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连116024
    基金项目: 

    国家自然科学基金国家高技术研究发展计划青年基金资助的课题

摘要: 建立了在球形靶鞘层中离子的蒙特-卡罗模拟模型,考虑了离子与中性粒子的电荷交换碰撞和弹性散射,以及精确依赖于入射离子能量的电荷交换碰撞截面和动量输运截面。模拟了不同气压下,在鞘层扩展过程中,氮离子N_2~+到达靶表面的能量分布和入射角分布,研究了它们的变化规律。

English Abstract

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