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低能Cu原子簇沉积薄膜的分子动力学模拟

李融武 潘正瑛 霍裕昆

低能Cu原子簇沉积薄膜的分子动力学模拟

李融武, 潘正瑛, 霍裕昆
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出版历程
  • 收稿日期:  1995-04-18
  • 刊出日期:  1996-07-20

低能Cu原子簇沉积薄膜的分子动力学模拟

  • 1. 复旦大学物理二系,上海200433;中国科学院上海冶金研究所离子束开放研究实验室,上海200050
    基金项目: 

    国家自然科学基金

    大连理工大学三束材料改性国家重点实验室资助的课题

摘要: 用分子动力学计算机模拟研究了能量为5—20eV/atorn,结构为正二十面体的(Cu)13原子簇在Cu(001)表面的沉积过程.采用紧束缚势同Moliers势的结合描述Cu原子间相互作用通过原子簇-衬底相互作用的“快照”研究沉积的动态过程.结果表明,当入射能量较低时,轰击弛豫后,入射原子簇在衬底表面发生重构,生成很好的外延层,靶没有任何损伤.随着轰击能量的增加,原子簇原子穿入靶的深度增加.当入射能量达到20eV/atom时,原子簇完全穿入靶并开始造成辐照损伤,表面出现空位,靶内产生间

English Abstract

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