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非晶Ni88P12合金薄膜的表面形貌特征与晶化行为的研究

李和兴 邓景发 杨建树 蔡群 董树忠 孙洁林 李民乾

非晶Ni88P12合金薄膜的表面形貌特征与晶化行为的研究

李和兴, 邓景发, 杨建树, 蔡群, 董树忠, 孙洁林, 李民乾
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出版历程
  • 收稿日期:  1996-07-25
  • 刊出日期:  1997-03-20

非晶Ni88P12合金薄膜的表面形貌特征与晶化行为的研究

  • 1. (1)复旦大学化学系,上海200433; (2)复旦大学应用表面物理国家重点实验室,上海200433; (3)中国科学院上海原子核研究所核分析开放研究实验室
    基金项目: 

    国家自然科学基金资助的课题.

摘要: 采用化学镀的方法在363K和p型Si(100)衬底上制得非晶Ni88P12合金薄膜.利用X射线衍射、X射线光电子能谱、扫描隧道显微镜和原子力显微镜对非晶合金薄膜及其经处理后形成的氧化态、还原态和晶态的结构、组分和表面的形貌特征作了研究,并对它的晶化行为作了初步探讨.结果表明,非晶合金薄膜是由纳米级微粒聚集成微米级颗粒组成;在低于晶化温度条件下经氧化和还原处理后的薄膜表面晶化;在晶化过程中,合金薄膜的非晶纳米微粒转变为微晶后长大成晶粒,其表面结构光滑平坦,几何边界

English Abstract

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