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热处理Co/C软X射线多层膜的掠入射反射率增强

白海力 姜恩永 王存达 田仁玉

热处理Co/C软X射线多层膜的掠入射反射率增强

白海力, 姜恩永, 王存达, 田仁玉
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出版历程
  • 收稿日期:  1996-05-13
  • 刊出日期:  1997-04-20

热处理Co/C软X射线多层膜的掠入射反射率增强

  • 1. 天津大学应用物理系
    基金项目: 

    国家自然科学基金及北京市中关村地区联合分析测试中心资助的课题.

摘要: 研究了低温退火Co/C软X射线多层膜中掠入射反射率的增强现象.通过测量一级调制峰强度随退火温度和时间的变化,测得了低至-10-25m2s-1的有效扩散系数.由于所研究的Co/C多层膜的调制波长远大于Co-C系统的扩散临界波长,有效扩散系数近似等于真实宏观扩散系数.负的宏观扩散系数表明,在Co-C系统中有相分离的趋势.这一结果可解释为由Miedema宏观原子模型计算得到的正的Co-C系统的混合焓.高退火温度下反射率的降低是界面锐化与界面粗糙化

English Abstract

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