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液相外延碲镉汞薄膜表面氧化特性的光电子能谱研究

李 毅 易新建 蔡丽萍

液相外延碲镉汞薄膜表面氧化特性的光电子能谱研究

李 毅, 易新建, 蔡丽萍
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出版历程
  • 刊出日期:  2000-01-20

液相外延碲镉汞薄膜表面氧化特性的光电子能谱研究

  • 1. 华中理工大学光电工程系,武汉 430074

摘要: 利用X射线光电子谱对液相外延HgCdTe薄膜表面氧化特性进行了 研究,对经不同工艺过程处理的HgCdTe表面进行了测量、分析,结果表明碲镉汞表面经溴 无水乙醇溶液腐蚀后,再用乳酸乙二醇溶液对表面进行处理,可获得氧化物极少甚至无氧 化的HgCdTe表面.说明HgCdTe表面钝化前的预处理直接影响钝化层/HgCdTe的界面特性. 

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