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薄膜生长的理论模型与Monte Carlo模拟

杨 宁 陈光华 公维宾 张 阳 朱鹤孙

薄膜生长的理论模型与Monte Carlo模拟

杨 宁, 陈光华, 公维宾, 张 阳, 朱鹤孙
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  • 用Monte Carlo方法模拟了薄膜的二维生长.引入Morse作用势描述粒子间的相互作用情况,研究了相互作用范围α对薄膜生长初期形貌的影响.薄膜的生长经历了由临界核的形成、团的长大、形成迷津结构到连续成膜4个阶段.模拟结果表明,随着沉积粒子数的增加,成团粒子所占百分比下降.这与实际情况相符.
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号:69876003和19874007)及北京市自然科学基金(批准号:2982013)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2000-04-21
  • 修回日期:  2000-06-11
  • 刊出日期:  2000-11-20

薄膜生长的理论模型与Monte Carlo模拟

  • 1. (1)北京工业大学材料科学与工程学院,北京 100022; (2)北京理工大学材料科学研究中心,北京 100081
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:69876003和19874007)及北京市自然科学基金(批准号:2982013)资助的课题.

摘要: 用Monte Carlo方法模拟了薄膜的二维生长.引入Morse作用势描述粒子间的相互作用情况,研究了相互作用范围α对薄膜生长初期形貌的影响.薄膜的生长经历了由临界核的形成、团的长大、形成迷津结构到连续成膜4个阶段.模拟结果表明,随着沉积粒子数的增加,成团粒子所占百分比下降.这与实际情况相符.

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