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沉积在液体衬底上连续铝薄膜的微观结构

陶向明 曾耀武 冯春木 焦正宽 叶高翔

沉积在液体衬底上连续铝薄膜的微观结构

陶向明, 曾耀武, 冯春木, 焦正宽, 叶高翔
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出版历程
  • 收稿日期:  2000-03-23
  • 刊出日期:  2000-11-20

沉积在液体衬底上连续铝薄膜的微观结构

  • 1. 浙江大学物理系,杭州 310028
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:19874016)资助的课题.

摘要: 研究了沉积在硅油衬底表面的连续铝薄膜的微结构及其表面形貌.与沉积在单晶硅表面的铝薄膜相比,两种铝薄膜均属颗粒结构,但硅油表面的铝薄膜具有颗粒尺寸较小、大小不均匀,表面起伏较大等特点,而且在该铝薄膜边缘的下表面,有一明显的波纹状楔型结构,其斜率仅为10-4—10-5.实验结果表明:这一现象是由于液体衬底的热膨胀行为引起的.此外对样品的晶态也进行了研究.

English Abstract

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