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KTN薄膜脉冲激光沉积过程的机理研究

李智华 张端明 陈中军 黄明涛 关丽 钟志成 李国栋

KTN薄膜脉冲激光沉积过程的机理研究

李智华, 张端明, 陈中军, 黄明涛, 关丽, 钟志成, 李国栋
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出版历程
  • 收稿日期:  2000-10-27
  • 修回日期:  2001-04-12
  • 刊出日期:  2001-10-20

KTN薄膜脉冲激光沉积过程的机理研究

  • 1. (1)华中科技大学(主校区)物理系,武汉430074; (2)襄樊学院物理系,襄樊441053
    基金项目: 

    华中理工大学激光技术国家重点实验室

    湖北省教育厅重大科研项目(批准号:2000B5002)资助的课题.

摘要: 根据能量平衡原理,导出了脉冲激光作用靶材的烧蚀率公式,并根据流体动力学理论,得出了脉冲激光产生的等离子体的空间运动特性方程,将靶材烧蚀率公式与等离子体空间动力学方程结合起来,根据实验研究了不同激光功率密度和波长对Kta0.65Nb0.35O3(KTN)薄膜沉积特性的影响,得到了一些有价值的结果,并对结果进行了详细的讨论,理论计算结果与实验大体符合.

English Abstract

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