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辉光放电等离子体辅助XeCl准分子激光溅射沉积碳氮薄膜

傅广生 于威 王淑芳 李晓苇 张连水 韩理

辉光放电等离子体辅助XeCl准分子激光溅射沉积碳氮薄膜

傅广生, 于威, 王淑芳, 李晓苇, 张连水, 韩理
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出版历程
  • 收稿日期:  2000-11-20
  • 修回日期:  2001-06-09
  • 刊出日期:  2001-11-20

辉光放电等离子体辅助XeCl准分子激光溅射沉积碳氮薄膜

  • 1. 河北大学物理科学与技术学院,保定071002
    基金项目: 

    河北省自然科学基金(批准号:597058)资助的课题.

摘要: 利用直流辉光放电等离子体辅助的脉冲激光沉积技术在Si衬底上生长了碳氮薄膜.通过扫描电子显微镜、X射线衍射、X射线光电子能谱、俄歇电子能谱等多种手段,对薄膜的形貌、成分、晶体结构、价键状态等特性进行了分析和确定.结果表明,沉积薄膜为含有非晶SiN和晶态氮化碳颗粒结构,晶态成分呈多晶态,主要为α-C3N4相、β-C3N4相,晶粒大小为40—60nm.碳氮之间主要以C-N非极性共价键形式相结合.

English Abstract

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