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不同CHF3/CH4流量比下沉积a-C∶F∶H薄膜键结构的红外分析

辛煜 宁兆元 甘肇强 陆新华 方亮 程珊华

引用本文:
Citation:

不同CHF3/CH4流量比下沉积a-C∶F∶H薄膜键结构的红外分析

辛煜, 宁兆元, 甘肇强, 陆新华, 方亮, 程珊华

INFRARED ANALYSIS OF BOND CONFIGURATION FOR THE a-C∶F∶H FILMS DEPOSITED AT VARIABLE CHF3/CH4 FLOW RATIOS

XIN YU, NING ZHAO-YUAN, GAN ZHAO-QIANG, LU XIN-HUA, FANG LIANG, CHENG SHAN-HUA
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出版历程
  • 收稿日期:  2001-05-05
  • 修回日期:  2001-07-02
  • 刊出日期:  2001-06-05

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