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超薄膜外延生长的Monte Carlo模拟

叶健松 胡晓君

超薄膜外延生长的Monte Carlo模拟

叶健松, 胡晓君
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出版历程
  • 收稿日期:  2001-05-18
  • 修回日期:  2001-11-04
  • 刊出日期:  2005-05-30

超薄膜外延生长的Monte Carlo模拟

  • 1. (1)上海交通大学材料科学与工程学院,上海200030;; (2)上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海200030

摘要: 用MonteCarlo(MC)方法对超薄膜外延生长过程进行了计算机模拟.模型中引入Morse势描述粒子间的相互作用,考虑粒子的沉积、吸附粒子的扩散和蒸发三个过程.研究了粒子间相互作用范围α和允许粒子行走的最大步数对薄膜生长形貌的影响.结果表明:在不同的α值下,随粒子行走步数的增加,薄膜的生长经历了从分散、分形、混合到团聚的过程;其中α=6时,基本观察不到粒子的分散生长过程;α值越小且粒子行走步数越小的情况下,薄膜越易趋向于分散生长

English Abstract

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