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碰撞效应对入射到射频偏压电极上离子能量分布和角度分布的影响

邱华檀 王友年 马腾才

碰撞效应对入射到射频偏压电极上离子能量分布和角度分布的影响

邱华檀, 王友年, 马腾才
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出版历程
  • 收稿日期:  2001-10-02
  • 修回日期:  2001-11-08
  • 刊出日期:  2002-03-05

碰撞效应对入射到射频偏压电极上离子能量分布和角度分布的影响

  • 1. 大连理工大学物理系、三束材料改性国家重点实验室,大连116024
    基金项目: 

    国家自然科学基金 (批准号 :19975 0 0 8和 19835 0 30 )

    国家教育部“跨世纪优秀人才培养计划”基金

    “高等学校骨干教师资助计划”资助的课题

摘要: 考虑了离子与中性粒子的弹性碰撞和电荷交换碰撞效应,建立了一套描述射频等离子体鞘层动力学特性的自洽模型,并利用MonteCarlo模拟方法研究了入射到电极上的离子的能量分布和角度分布.数值结果表明:随着放电气压增加,入射到电极上离子的能量分布逐渐地由双峰分布变成单峰分布,而且低能离子的数目也逐渐地增加.入射到电极上的离子呈小角分布,而且放电气压等参数对角度分布的影响不是太明显.

English Abstract

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