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石英衬底上生长的高光学质量的纳米金刚石薄膜

邱东江 吴惠桢 石成儒

石英衬底上生长的高光学质量的纳米金刚石薄膜

邱东江, 吴惠桢, 石成儒
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出版历程
  • 收稿日期:  2001-01-11
  • 修回日期:  2002-01-19
  • 刊出日期:  2005-05-31

石英衬底上生长的高光学质量的纳米金刚石薄膜

  • 1. (1)浙江大学物理系,杭州310028; (2)浙江大学中心实验室,杭州310028
    基金项目: 

    浙江省自然科学基金 (批准号 :5 960 3 0 )资助的课题~~

摘要: 采用射频等离子体增强的热丝化学气相沉积(RFHFCVD)技术在石英玻璃衬底上制备了表面光滑、晶粒致密均匀的纳米金刚石薄膜.用扫描电子显微镜(SEM)和台阶仪观测薄膜的表面形貌和粗糙度,x射线衍射(XRD)和Raman光谱表征膜层的结构,并用紫外可见近红外光谱仪测量其光透过率.实验结果表明,衬底温度、反应气压及射频功率对金刚石膜的结晶习性、表面粗糙度及光透过率均有很大程度的影响,其最佳值分别为700℃,2×133Pa和200W.在该最佳参量下经1h的生长即获得连续、平滑的纳米金刚石膜,其平均晶粒尺寸为约25

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