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金属薄膜电迁移1/f噪声与1/f2噪声统一模型

杜磊 庄奕琪 薛丽君

金属薄膜电迁移1/f噪声与1/f2噪声统一模型

杜磊, 庄奕琪, 薛丽君
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出版历程
  • 刊出日期:  2002-12-20

金属薄膜电迁移1/f噪声与1/f2噪声统一模型

  • 1. 西安电子科技大学,西安710071

摘要: 应用晶粒边界自由体积的概念建立了能够统一描述金属薄膜1f噪声与1f2噪声的模型.该模型表明,结构完整的多晶金属薄膜产生的电噪声为1f噪声,当金属薄膜受到电迁移损伤而形成空洞时就会引入1f2噪声的成分.在电迁移应力实验中,观察到金属薄膜1fγ噪声在空洞成核前γ约为10,一旦发生空洞成核,即突增至16以上,这一规律与本模型的预测相符合

English Abstract

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