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离子注入GaN的拉曼散射研究

物理学报, 2002, 51(3): 629-634.
DOI: 10.7498/aps.51.629
CSTR: 32037.14.aps.51.629

Acta Phys. Sin., 2002, 51(3): 629-634.
DOI: 10.7498/aps.51.629
CSTR: 32037.14.aps.51.629
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  • 摘要

    研究了离子注入前后GaN的拉曼散射光谱,特别是其中几个在各种离子注入后都存在的拉曼散射峰,如298,362和661cm-1峰的性质,峰值强度随注入元素原子量、注入剂量和退火温度的变化关系.上述三个拉曼散射峰的强度都随注入元素原子量的增加而降低.当注入剂量增大时,362和661cm-1峰值强度减少,而298cm-1峰值强度却增大.随退火温度的升高,这三个拉曼散射峰的强度先增加后降低.对所观察到的实验现象和这三个峰的起源进行了分析和讨论.

     

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