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Al2O3陶瓷衬底碳离子预注入对金刚石薄膜应力的影响研究

方志军 夏义本 王林军 张伟丽 马哲国 张明龙

Al2O3陶瓷衬底碳离子预注入对金刚石薄膜应力的影响研究

方志军, 夏义本, 王林军, 张伟丽, 马哲国, 张明龙
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出版历程
  • 收稿日期:  2002-06-21
  • 修回日期:  2002-08-09
  • 刊出日期:  2005-04-03

Al2O3陶瓷衬底碳离子预注入对金刚石薄膜应力的影响研究

  • 1. 上海大学 材料科学与工程学院,上海 201800
    基金项目: 

    上海应用材料研究与发展基金(批准号:0006)资助的课题.

摘要: 通过对Al2O3陶瓷衬底进行碳离子预注入,大大降低了Al2O3陶瓷衬底上金刚石薄膜的应力,且金刚石薄膜中的压应力随碳离子注入剂量的增加而线性下降.通过对Al2O3陶瓷衬底注入前后的对比分析表明,高能量的碳离子注入Al2O3陶瓷衬底以后,并没有产生过渡层性质的新相,而是大量累积在Al2O3晶格的间隙位,使Al2O3晶格发生畸变.而且,随着碳离子注入剂量的增加,Al2O3基体内晶格畸变加剧,注入层残余压应力也随之上升.当金刚石薄膜沉积以后,在降温的过程中衬底这部分残余应力得到释放,从而部分弛豫了金刚石薄膜中的

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